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當前位置:產品介紹 > 表面表征 >奧林巴斯工業顯微鏡 >激光共聚焦顯微鏡 >OLS5000 3D測量激光顯微鏡 產品介紹
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LEXT OLS5000 3D測量激光顯微鏡配備的兩套光學系統(彩色成像光學系統和激光共焦光學系統)讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像。

LEXT OLS5000 3D測量激光顯微鏡有4大關鍵價值:

  • 捕捉任意表面形狀
  • 快速獲得可靠數據
  • 使用簡單 - 只需放置樣品并按一下按鈕即可
  • 測量具有挑戰性的樣品

價值1:捕捉任意表面形狀。

OLS5000顯微鏡 OLS5000顯微鏡

OLS5000顯微鏡的技術使其能夠進行高分辨率的3D樣品測量。

價值2、快速獲得可靠數據

快速獲得可靠數據

該顯微鏡的掃描算法既可提高數據質量又可提高速度,從而縮短您的掃描時間,簡化您的工作流程,終實現生產力的提升。

價值3、使用簡單,只需放置樣品并按一下按鈕即可

OLS5000顯微鏡測量樣品

LEXT® OLS5000顯微鏡具有自動數據采集功能,因而無需進行復雜的設置調整。 甚至生疏的用戶也可以獲得準確的檢測結果。

價值4、可測量具有挑戰性的樣品

低輸出、非接觸式無損激光測量意味著不需要樣品制備。可以在不損壞易損性材料的情況下對其進行測量。擴展架可容納高達210毫米的樣品,而工作距離物鏡能夠測量深度可達25毫米的凹坑。在測量這兩類樣品時,您只需將樣品放在載物臺上即可。

[獲取彩色信息]
彩色成像光學系統使用利用白光LED光源和CMOS相機獲取彩色信息。
[獲取3D 高度信息和高分辨率共焦圖像]
激光共焦光學系統采用405納米激光二極管光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦圖像。淺焦深使其能夠用于測量樣品的表面不規則性。

[405納米激光光源]

光學顯微鏡的橫向分辨率隨著波長的減小而獲得提升。采用短波長激光的激光顯微鏡相比采用可見光(峰值550納米)的傳統顯微鏡具有更優的橫向分辨率。 OLS5000顯微鏡利用405納米短波長激光二極管獲得卓越的橫向分辨率。

[激光共焦光學系統]

激光共焦光學系統僅接收通過圓形針孔聚焦的光線,并非采集從樣品上反射和散射的所有光線。這樣有助于消除模糊,讓其能夠獲得比普通顯微鏡對比度更高的圖像

[X-Y掃描儀]

OLS5000顯微鏡配有奧林巴斯光學掃描儀。通過將采用電磁感應MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結合,能夠讓X-Y掃描儀定位于相對物鏡瞳鏡共軛的位置,因而能夠實現具有較低掃描軌跡失真和較小光學像差的卓越X-Y掃描。

[高度測量原理]

在測量高度時,顯微鏡通過自動移動焦點位置獲取多個共焦圖像。
根據非連續的焦點位置(Z)和檢測光強度(I)可以估算每個像素的光強變化曲線(I-Z曲線),并獲得其峰值位置和峰值強度。由于所有像素的峰值位置與樣品表面的不規則性相對應,因此可以獲得樣品表面的3D形狀信息。與此類似,通過峰值強度數據可以獲得針對樣品表面所有位置焦點的圖像(擴展圖像)。

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